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高精度耦合封装机 高精度耦合封装机

高速固晶贴片设备

多芯片贴装设备 LQ-DB10

LQ-DB10全自动多芯片贴装设备集成上下料系统,贴装精度达±7μm@3σ,角度精度±0.5°@3σ,支持多晶圆及复杂元器件加工。

单头三晶圆环设计可混合作业三种尺寸相近的6英寸芯片,搭配智能吸嘴库实现自动更换。

基于自主算法保障高速稳定性,模块化结构灵活适配半导体封装、光通信等场景,支持硬件配置与工艺参数深度定制,满足高精度、柔性化生产需求。

  • 高精度

  • 全自动上下料

  • 高稳定

多芯片贴装设备   LQ-DB10

应用领域

  • 光电子领域

  • 功率器件领域

  • 微波射频器件领域

  • 新能源汽车领域

技术参数

  • 5秒/颗

    水平蘸胶贴装

  • ±7μm

    贴装精度

  • ±0.5°

    旋转精度

  • 上下料方式

    载具上料,载具自动周转

  • 重量

    约1400kg

  • 多芯片

    最多4种不同的拾取工具,固定移动,灵活切换
  • 点胶

    蘸胶式,自动校准针尖
  • 供料

    2“GEL-PAK 、6” WAFER RING
  • 粘合精度

    ±10μm @ 3σ 贴装精度、±0.3° @ 3σ 贴装旋转精度
  • 菜单
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